流程工業(yè)高純氣體案例：

　　純氣體生產(chǎn)或半導體制造等某些要求嚴苛的工業(yè)流程，需要非常精確地測量微量水分含量。

　　通常認為，在實(shí)驗室環(huán)境中才能實(shí)現理想測量。但是，采樣時(shí)會(huì )引入某些不確定因素，如污染、平均值、管道等。在本文中，我們將展示與在線(xiàn)測量相比，實(shí)驗室環(huán)境中存在哪些會(huì )造成不確定性的采樣相關(guān)因素。

　　人們通常認為，實(shí)現高準確度的理想方法是購買(mǎi)具有高規格的測量?jì)x表。對于濕度測量而言，這意味著(zhù)要購買(mǎi)分析儀類(lèi)型的儀表，因為這類(lèi)儀表理論上準確度高。然而，相較于更堅固耐用的工業(yè)儀表，分析儀價(jià)格昂貴，且對環(huán)境的影響異常敏感，因此需要特定且穩定的使用條件。

　　通常，分析儀并不直接在流程中進(jìn)行測量，而是要先行采集氣體樣本，將其導入分析儀，然后將樣本遺棄。

　　在所有測量中，氣體樣本通常都存在以下問(wèn)題：

　　樣本可能無(wú)法代表實(shí)際的工藝條件。

　　•樣本還可能受到采樣和分析中外部因素的影響。

　　•樣本可能會(huì )受到泄漏的影響，甚至成為泄漏的源頭。

　　舉例來(lái)說(shuō)，想象要稱(chēng)量一些粉末。如果在采樣和稱(chēng)量之間的過(guò)程中，粉末被雨水打濕，樣本將無(wú)法反映粉末的真實(shí)重量和成分。同樣，水氣也能輕易改變氣體樣本的濕度，即使使用先進(jìn)的全新儀表，結果也會(huì )不準確。

　　如何改進(jìn)干燥環(huán)境中的濕度測量：

　　實(shí)驗：為了展示該問(wèn)題并研究其影響，我們構建了一個(gè)測試裝置（如圖1所示）。該裝置的基本思路是保持恒定的濕度，然后通過(guò)在20°C至27°C范圍內改變管道溫度來(lái)干擾濕度。理論上，這會(huì )導致吸附/解吸效應，從而影響排出加熱室的水氣總量。同樣，在從現場(chǎng)轉至測量實(shí)驗室的過(guò)程中，采樣管可能會(huì )暴露在室外天氣下，進(jìn)而受到溫度變化的影響。在較小的范圍內，不同的室內溫度也可能產(chǎn)生類(lèi)似的影響。實(shí)驗過(guò)程中，氣壓保持在1 bar(a)至2 bar(a)范圍內，流速始終小于1 l/min，與分析儀的流速一致。

　　該裝置由一臺濕度發(fā)生器、兩臺維薩拉DMT152露點(diǎn)儀表、一個(gè)帶有6.7 m電拋光鋼管的加熱室和一臺CRDS分析儀組成。兩臺DMT152露點(diǎn)儀表分別放置在加熱室之前和之后（圖1）。從第二臺DMT152到分析儀的管道盡可能短，以盡量降低DMT152和分析儀之間的環(huán)境影響。使用兩個(gè)溫度傳感器監測加熱室的溫度。

　　結果：在不同的壓力、流速和濕度下進(jìn)行了多次測量。每次實(shí)驗中都以相同的方式控制加熱室。（見(jiàn)圖2）

　　在圖2中，隨著(zhù)溫度（黑色）的干擾增強，出口處的DMT152檢測到的噪聲濕度越來(lái)越多，而入口濕度在測量過(guò)程中保持恒定。測量結束后，溫度穩定至實(shí)驗室溫度，兩臺DMT152儀表再次穩定并指示相同的霜點(diǎn)溫度。該圖清晰展示了采樣管溫度的穩定性對輸出濕度的影響，因而會(huì )影響濕度的測量結果。

　　圖3繪制了另一次測量的結果。該圖中，入口濕度不像圖2中那樣穩定，但DMT152儀表和CRDS分析儀都呈現出類(lèi)似的趨勢。然而，在圖3中，與CRDS分析儀或出口處的DMT152相比，入口濕度的噪聲要小得多。事實(shí)上，出口處的濕度變化過(guò)大，以至于DMT152和CRDS分析儀都無(wú)法正確指示入口濕度，并且二者的誤差實(shí)際都超出了其規格。然而，此處使用的儀表功能完好，并且性能符合其規格要求，問(wèn)題出在采樣管上。溫度的變化會(huì )引起吸附/解吸現象，從而導致采樣管出口的濕度發(fā)生變化。

　　該測量活動(dòng)的結果表明：

　　•吸附/解吸引起的最大霜點(diǎn)溫度變化超過(guò)4°C。

　　•流量的影響：流量越大，噪聲越大。

　　•溫度變化越大，管內的吸附/解吸效應越劇烈。

　　•濕度越低，相對影響越大。

　　關(guān)鍵要點(diǎn)：在本文中，我們測試了環(huán)境對采樣的影響。如果測量環(huán)境或采樣不理想，可能會(huì )對測量結果產(chǎn)生重大影響。如圖2和圖3所示，由于其在線(xiàn)過(guò)程測量的結果更具代表性，位于入口處的DMT152價(jià)格更加實(shí)惠，且表現優(yōu)于價(jià)格更高的分析儀。因此，建議直接在想要關(guān)注的位置進(jìn)行測量，并盡可能減少采樣管的使用。由于測量裝置和測量原理更加簡(jiǎn)單，這種方法也具有更為顯著(zhù)的成本效益。